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半导体洁净车间规范安装详解

2024-05-24
共有520家企业看过

  在半导体产业中,洁净车间的安装和配置至关重要,它直接关系到半导体产品的质量和生产效率。合洁科技电子净化工程公司将详细解析半导体洁净车间的规范安装过程,包括地面、墙面、天花板、电气设备以及空调新风系统等的安装要点,旨在帮助读者了解并掌握半导体洁净车间的安装规范。

  1、确定设计方案:根据车间的使用需求和洁净度要求,确定车间的设计方案,包括墙面、天花板、地面、门窗、空调系统、照明系统等。

  2、材料采购:根据设计方案,采购符合洁净度要求的材料。例如,地面材料应选用防滑、耐腐蚀、易清洁的材料,如环氧树脂自流平地坪或PVC地坪;天花板材料应选用具有防火、防尘、防水、易清洁等特性的材料,如铝合金板或PVC板;墙面材料应选用耐腐蚀、易清洁、无尘的材料,如彩钢板或不锈钢板。

  3、施工准备:对车间进行清洁和消毒,准备施工所需的工具和材料,如切割机、焊接机、螺丝刀、螺丝等。

  4、墙面和天花板施工:根据设计方案,对墙面和天花板进行施工,包括切割、焊接、固定等。注意保持施工环境的清洁,避免灰尘和杂质对车间洁净度的影响。


半导体洁净厂房


  5、地面施工:根据设计方案,对地面进行施工,包括打磨、涂装、固定等。确保地面的平整度、坡度和防滑性,同时应进行防潮处理。

  6、空调系统和照明系统安装:根据设计方案,安装空调系统和照明系统,包括管道、电线、灯具等。注意空调系统的管道材料应选用耐腐蚀、易清洁、无毒的材料,如不锈钢或聚丙烯管。照明系统应确保光线充足且均匀分布,避免阴影和眩光。

  7、门窗安装:根据设计方案,安装无尘门、无尘窗等特殊设计的门窗。确保门窗的密封性和气密性,避免外界空气和尘埃的进入。

  8、电气设备安装:电气设备应按照设计图纸进行安装,确保其位置、大小和数量等参数符合设计要求。电缆桥架和电线管路应排列整齐,避免交叉和混乱。电气设备的外壳应接地,以确保使用安全。

  9、消毒设备和垃圾处理设备安装:根据设计方案,安装紫外线消毒灯、臭氧消毒器等设备,以及密闭式垃圾桶和专门的垃圾处理设备。确保设备的正常运行和定期维护,以保证车间的洁净度和卫生状况。

  10、FFU过滤器安装:对于百级洁净室等高级别洁净区域,需要安装FFU过滤器。从运输包装箱中小心地取出高效过滤器,查看在运输过程中是否有任何部件损坏。取下塑料包装袋,将FFU和高效过滤器放置在清洁的房间内。然后,把FFU及高效过滤器安装在吊顶龙骨上。

  11、空调控制系统安装:采用全年自动控制系统,控制器安装在车间内,可显示车间温度,并可手动进行控制。确保系统的稳定运行和精确控制,以满足车间不同区域的温度和湿度要求。

  12、新风系统安装:每台空气处理机组均独立设置新风系统,新风管上安装风量调节阀。新风经过空气处理机组集中制冷,并经过初中高效过滤器处理后送入半导体芯片净化车间内,确保半导体芯片净化车间内的新风量要求和正压要求。

  13、隔断安装:生产车间隔断用50mm厚岩棉彩钢板,具有美观耐腐蚀的特点,有良好的隔热作用。隔断安装配件采用阴阳三维接点铝球面,阳角处安装铝合金角铝,门口断开处应收口。施工安装时,应先进行吊挂,锚固件与建筑主体结构(地面、楼面、天花)的固定。

  在整个安装过程中,需要严格遵守半导体洁净车间的施工标准和规范,确保每个环节的施工质量和洁净度要求。同时,还需要对施工现场进行分区管理,确保各个作业区域的独立性和安全性。

EPC无尘净化工程案例

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