如何高效建造万级电子光学洁净厂房

　　电子光学产品生产技术推动了电子光学洁净厂房的发展，两者相互促进，电子光学洁净厂房的建造满足了电子产品生产工艺环境要求。那么，要如何建造电子光学洁净厂房呢?今天就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

　　电子光学洁净厂房的设计建造和使用应做到不引入或少引入微粒，不产生或少产生微粒，不滞留或少滞留微粒。此外。电子光学洁净厂房还对温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制。而根据产品要求需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。

　　电子光学洁净厂房的设计和建造就是要在做好相关专业设计的基础上，做好各项设施消防、防火、防爆、报警，确保洁净室的运行。与此同时，他还要处理好电源、冷源、热源等动力供应，节约能源：安排好各类配管配线，确保各种流体介质的输送力量，减少材料消耗，方便施工安装和运行维护。

　　一、前期规划与准备

　　1、需求分析：明确厂房规模、产能、工艺要求，确定洁净度等级(万级)、温湿度范围(通常温度24±2℃，相对湿度55±5%)、换气次数(≥20次/小时)等核心参数。

　　2、选址与布局：选择地质稳定、环境清洁的区域，合理划分生产区、辅助区、办公区、仓储区及净化空调系统区域，确保物流与人流分离，减少交叉污染。

　　3、资金与资源筹备：根据预算编制详细成本计划，提前采购进口设备(如高效过滤器、防静电地板)及特殊材料(如PVC地板、岩棉板)，避免工期延误。

　　二、结构设计优化

　　1、建筑形式：采用单层轻钢结构或钢筋混凝土框架，大跨度设计(如15m、30m)形成大空间，便于工艺布局调整。

　　2、围护结构：

　　墙体：双层玻璃幕墙或岩棉夹芯彩钢板，内外层间填充岩棉保温，接缝处用密封胶封堵。

　　屋面：轻钢结构屋面，加设保温层与防水层，坡度≥5%防止积水。

　　门窗：减少门窗数量，采用气密性良好的双层中空玻璃门和固定窗，门框嵌入密封条。

　　3、技术夹层：在吊顶上方设置技术夹层，用于敷设管道、电缆及安装空调设备，减少对生产区的干扰。

　　三、通风空调系统设计

　　1、空气净化流程：新风→初效过滤器→中效过滤器→空调机组→高效过滤器(HEPA)→送风管道→洁净区→回风百叶窗→初效过滤器，形成闭环净化。

　　2、气流组织：

　　万级区域：采用顶送侧回乱流形式，高效过滤器布置在顶棚，回风口设在墙面下方。

　　局部百级：在关键工序(如光刻)设置垂直层流工作台，气流方向与重力一致，减少颗粒沉积。

　　3、设备选型：

　　空调机组：模块化设计，支持变频调节，根据负荷动态调整送风量。

　　风机：选用低噪音、高效能离心风机，风压满足管道阻力要求。

　　过滤器：初效过滤效率≥80%，中效≥90%，高效(HEPA)≥99.97%。

　　四、防静电与防震动控制

　　1、防静电设计：

　　地面：铺设防静电环氧自流平或PVC地板，电阻值1×10?~1×10?Ω。

　　墙面与顶面：采用防静电涂层或导电型彩钢板，接地电阻≤1Ω。

　　设备与工具：使用防静电工作台、离子风机及导电轮推车，人员穿戴防静电服、鞋和腕带。

　　2、防震动控制：

　　设备基础：精密仪器(如光刻机)采用独立混凝土基础，与厂房结构脱开。

　　管道支架：加装橡胶减震垫，避免空调机组、风机等振动传递至洁净区。

　　五、给排水与电气系统设计

　　1、给排水系统：

　　给水：采用不锈钢管道，支管设置倒流防止器，水质符合《电子级水》标准。

　　排水：暗敷排水管道，坡度≥1%，地漏采用洁净型，水封高度≥50mm。

　　纯水系统：设置预处理、反渗透、EDI模块，产水电阻率≥18MΩ·cm，管道采用卫生级不锈钢或Clean-PVC。

　　2、电气系统：

　　供电：双回路供电，关键设备(如空调机组)配置UPS不间断电源。

　　照明：采用LED洁净灯，照度≥300lx，无频闪、无紫外线。

　　消防：设置极早期烟雾探测器，采用七氟丙烷气体灭火系统，避免水渍损失。

　　六、施工安装与质量控制

　　1、施工流程：

　　基础施工：优先完成设备基础及地下管道敷设，避免后期开挖破坏洁净区。

　　主体结构：同步进行钢结构安装与围护结构封闭，缩短工期。

　　装饰装修：先安装防静电地板，再施工墙面与顶面，最后安装门窗及过滤器。

　　2、关键工序控制：

　　管道焊接：不锈钢管道采用氩弧焊，层间温度≤60℃，焊缝内表面呈银白色。

　　过滤器安装：高效过滤器安装前进行检漏测试，漏风率≤0.1%。

　　地面施工：环氧自流平分两遍涂刷，每遍厚度≤1mm，24小时内禁止通行。

　　3、质量验收：

　　洁净度测试：采用粒子计数器检测≥0.5μm颗粒数，万级标准≤3,520,000个/m3。

　　风速与压差：送风风速0.45±0.05m/s，相邻洁净区压差≥5Pa。

　　通过以上措施，可显著提升建造效率，确保电子光学洁净厂房快速投产后稳定达标。建议选择有电子行业经验的EPC总包商，减少接口风险。