集成电路制造洁净车间建设特点与技术规范
Mon Jul 07 11:20:14 CST 2025
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集成电路制造作为现代电子信息产业的核心环节,其生产环境对洁净度、温湿度、静电控制等参数的严苛要求,直接决定了芯片良率与产品性能。洁净车间作为集成电路制造的物理载...
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