半导体洁净车间噪音标准规范和注意事项

　　在半导体洁净车间中，噪音控制是非常重要的，因为噪音可能会对生产设备、工作人员和产品质量造成影响。以下是合洁科技电子净化工程关于半导体洁净车间噪音标准和规范的一般性指导：

　　一、半导体洁净车间噪音标准和规范：

　　1、ISO 14644标准：

　　ISO 14644系列标准是关于半导体洁净车间和相关受控环境的国际标准，其中也包含了对噪音水平的一些要求。这些标准通常规定了洁净室内的噪音水平限制，以确保生产环境符合特定的洁净度等级要求。

　　2、国家标准：

　　不同国家可能有针对噪音控制的具体标准和规范，例如对于工业环境中的噪音限制。在设计和运行半导体洁净车间时，应遵守所在国家的相关标准。

　　3、设备噪音控制：

　　在选择和安装生产设备时，应考虑设备本身的噪音水平，并选择低噪音的设备。此外，可以采取吸音、隔音措施，以减少设备产生的噪音传播。

　　4、工艺控制：

　　优化生产工艺，减少可能产生噪音的环节，如减少机械振动、避免冲击噪音等。

　　5、隔音设计：

　　对于半导体洁净车间的设计，应考虑隔音措施，如使用吸音材料、隔音墙壁等，以减少外部噪音对车间内部的影响。

　　6、定期检测和监测：

　　定期对洁净车间内的噪音水平进行监测和检测，确保噪音控制在合适的范围内，并及时采取措施进行调整。

　　7、员工培训：

　　对工作人员进行噪音危害的培训，教育他们如何正确佩戴耳塞或耳罩等个人防护设备，以减少长期暴露于噪音环境下可能带来的健康风险。

　　二、半导体洁净车间的建设应注意以下几点：

　　1、因技术经济条件限制，或噪声超过70分贝且不影响生产的，可适当降低噪声级，但不应超过75分贝。

　　2、以上噪声级是指在室内各工作点的人耳位置(人在远处)的测量值。对于波动噪声，在正常工作日期间在同一位置获得等效的连续声压级。

　　a、半导体洁净车间噪声频谱限值宜采用倍频带声级，各频带声压级不应超过1级。

　　b、半导体洁净车间规划和断面布置应考虑噪声控制要求，围护结构应具有良好的隔声性能，各断面隔声效果应不相近。

　　c、半导体洁净车间中的各类设备应采用低噪音产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，必须配备专用隔声设备(隔声室、隔声罩等)。

　　d、半导体洁净车间净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔音等控制措施。除了意外排气外，洁净室的排气系统也需要进行降噪设计。

　　综合考虑以上因素，半导体洁净车间应该遵循相关的噪音标准和规范，通过设备选择、工艺控制、隔音设计等措施，有效控制噪音水平，保障生产环境的安静和员工的健康。