集成电路净化车间布置设计原则
2023-09-13
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除客户特殊需要外,集成电路净化车间生产设备的布置尽量与工艺顺序一致,应尽量兼顾工艺流程的先后顺序,减少物料的运输。在设备的标高布置中,要避免从下往上输送过多的物...
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