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集成电路净化车间布置设计原则

Wed Sep 13 14:22:41 CST 2023
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  除客户特殊需要外,集成电路净化车间生产设备的布置尽量与工艺顺序一致,应尽量兼顾工艺流程的先后顺序,减少物料的运输。在设备的标高布置中,要避免从下往上输送过多的物料。所以在集成电路净化车间的布置设计中,以下是一些原则和考虑因素,具体随合洁科技电子净化工程一起来了解下吧!

  理想情况下,物料一次抬升后向下面流动,可以减少能源消耗。合洁科技电子净化工程公司设计原则思想:从原料进入集成电路净化车间,经过生产工艺到成品包装,到出集成电路净化车间,布局与工艺生产工艺一致、连续。

  集成电路净化车间的地面材料,宜采用防静电活动地板或防静电PVC卷材铺设。洁净室的照明灯具及配电装置应与生产区分开,且不宜直接安装在地面上。集成电路净化车间内使用的电源插座,应为带保险丝的专用插座并有良好接地措施,空调系统安装位置的选择要合理。


集成电路净化车间


  集成电路净化车间的门帘应有良好的密闭性防止尘土进入,门框上应有可靠的密封措施防止尘土从门下逸出,净化车间内不应设置排水沟和地漏,如确需设置的,其位置应便于排水并易于清洁卫生,净化车间的门窗宜装有防盗装置及安全疏散设施。

  洁净室的内窗宜采用双层玻璃结构以增加气流的稳定性,生产设备的运行等可能会产生噪音,因此在设计集成电路净化车间时,还需要考虑控制噪声,即对洁净室内的噪声要求要在规定的环境噪声标准值内,根据使用功能需要和用户的要求确定。

  还有就是紧急安全措施:考虑紧急情况下的安全措施,如灭火系统、紧急出口和应急照明等。这些措施应符合相关的安全标准和法规。

  易燃易爆生产部件应布置在防火防爆区域,并尽可能地局部化。防火区与非防火区之间应设置门槛或坡度等防止液体流散的设施,安装有溶媒或有毒气体的设备,不宜布置在地坑内,如条件受限需要设置时,应在地坑内装设吸风口(排风)。

  最终的布置设计应根据具体的集成电路制造工艺、洁净等级要求和空间限制等因素进行评估和规划。最好与专业的洁净环境设计师或顾问合作,以确保设计满足相关要求并最大程度地提高生产效率和产品质量。

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