半导体洁净厂房建造设计要点总结
2022-06-25
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半导体洁净厂房的要求较高，在设计环节需要严格遵循相关规范要求，并且对工艺流线进行科学化的布局。同时，为了进一步提升半导体洁净厂房设计环节符合洁净度的标准，还涉及...
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