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半导体洁净厂房建造设计要点总结

2022-06-25
共有4717家企业看过

  半导体洁净厂房的要求较高,在设计环节需要严格遵循相关规范要求,并且对工艺流线进行科学化的布局。同时,为了进一步提升半导体洁净厂房设计环节符合洁净度的标准,还涉及到人员与物料的进入、装修材料等一系列的因素。下面合洁电子净化工程对半导体洁净厂房建筑设计要点进行一下总结,希望对您有帮助。

  1、半导体洁净厂房的洁净度设计

  半导体洁净厂房在进行建筑设计环节中,需要对洁净度方面进行科学有效性的把控,并对设计环节进行严格的管理,从而实现其洁净参数的有效控制。在实际生产环节中,需要对物料进出方面、人员进出程序等方面进行严格管控,以确保其洁净生产方式的有效运行。净化空调的气流组织形式采用顶送下回的垂直层流方式,顶棚满布FFU,下部利用铝格栅回风。为了其满足和提高洁净参数,需要做到以下方面的工作:

半导体洁净厂房的图片

  1)工作人员的净化

  对于半导体洁净厂房员工工作环节进行一系列的净化工作,需要采取由外内向,逐步进化的进化原则,工作人员在进入厂房后,完成穿戴无尘服等工作,需要采取一级,二级的风淋室进行净化,然后在进入风淋室之后再进行衣服整洁,进车间可以保证其脏物和杂质可以被风淋室进行处理,并进行佩戴相应的口罩和手套,防止人员在进行走动过程中造成的二次交叉污染现象。

  2)物料净化

  生产物料在进入半导体洁净厂房过程中,需要设立单独的风淋室进行相关的净化,从而确保物料进入厂房进行洁净处理,也是确保物料的洁净度符合车间的要求。同时,在物料净化通口,不允许人员的来回走动。因此,在进行厂房设计方面,需要对物料进出区域进行合理的规划和设计,并保证其洁净区域的合理性。并实现进出物料通过相关的传递窗和气闸室的洁净区域,可以把相关的杂质进行过滤,以确保其物料不会对洁净生产区域造成相关的污染,也是提高其生产区域洁净度的主要因素。

  3)为了进一步确保围护结构方面的密闭性,一般而言,围护结构方面的密闭性需利用利用减少结构方面的缝隙或者全面提升缝隙密闭性解决相关的问题。

  4)装修材料的选择。对半导体洁净厂房的洁净度需要进行一系列的控制,不仅对空气环节的尘粒进行有效的控制,与此同时,采取行之有效的措施对室内装修涉及到的材料进行科学性的控制。在对半导体洁净厂房进行室内装修时,对装修材料进行严格的把控,主要是满足电子产品的性能指数,生产区地面的科学性设计主要是为防静电高架地面,地面、回风技术下夹层墙面、顶棚、光刻间密梁结构均采用环氧树脂涂装,墙面及吊顶均为气密性好的净化金属壁板。动力区地面设计方面为了提供稳定的频率需要采用针对性的防尘涂料地面、防腐地砖。结构设计方面需要利用相关途径和方式应尽量保持平整,可以确保其静电指数控制在合理的范围,也是为电子产品生产环节提供科学性的生产环境,也是保证电子产品的质量水平。

  2、半导体洁净厂房的防火设计

  半导体洁净厂房在进行相关的建筑设计方面,对防火的等级和疏散通道方面作为其设计的主要内容。一旦厂房发生火灾等严重的突发事件,可以在第一时间保证其厂房内工作人员的安全,也可以用最快的速度进行人员的疏散和撤离,并可以保证重要物资进行安全性的转移。防火设计需要遵循相关的规范制度,并进行一系列的研究和分析,并利用现代化防火技术和消防技术的有效运用,在厂房设计环节中的运用可以保证其设计的合理性和有效性,也是确保其厂房的安全性生产的重要前提。

  以上就是本篇文章全部讲解,想必您读到这里,一定对半导体洁净厂房建造设计要点总结有了一定的认识。如您想了解更多关于电子洁净车间改造建设,欢迎您持续关注我们合洁电子厂房净化工程的网站,我们会为您持续讲解洁净工程施工流程,介绍洁净工程各项要求以及解读各类电子洁净车间标准。

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