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半导体洁净厂房装修建筑布局设计

2023-12-04
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  合洁科技电子净化工程公司介绍说,半导体洁净厂房装修要根据实践的出产流程设定相应的功能间,需要考虑人员物流的走向和作业效率,在平面计划初步断定的基础上,再断定洁净区与非洁净区,洁净区的洁净等级;然后断定相应的换气次数或是截面风速;然后安置送回风口,规划洁净送风机组(大小、方位、风机空调选型等),规划送回新风管道等。

  半导体洁净厂房装修的平面布局,一般包括无尘区、准无尘区和辅佐区三部分。平面安置能够有以下几种方法:外廊盘绕式,外廊能够有窗和无窗,兼作观赏和放置一些设备用,有的在外廊内设直勤采暖。外窗有必要是双层密封窗。内廊式,车间设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的无尘度等级一般都较高,乃至和无尘车间同级。两头式,无尘区设在一边,另一边设准无尘和辅佐用房。中心式,为了节省用地、缩短管线,能够无尘区为中心,上下左右被各种辅佐用房和荫蔽管道的空间包围起来,这种方法避开室外气候对无尘区的影响,削减了冷热能耗,利于节能。



  为了在操作中尽量削减人活动发生的污染,人员在进入无尘区之前,有必要替换无尘服并洗手、消菌、过风淋,这些措施即人员净化。人员净化用房中替换无尘服的房间应予送风,并对进口侧等其他房间坚持正压,对厕所、淋浴坚持少量正压,而厕所、淋浴应坚持负压。物料净化道路,各种物件在送入无尘区前有必要通过净化处理,物料净化道路与人净道路应分隔,如果物料与人员只能在同一处进入半导体洁净厂房,也有必要分门而入,物料先通过粗净化处理。

  关于出产流水线不强的场合在物料道路中心可设中心库,如果出产流水线很强,则选用直通式物料道路,有时还需在直通道路中心设传递设备。

  在体系规划上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对无尘区应坚持负压或零压,如果污染性大则对进口方向也要坚持负压。无尘车间的管线十分复杂,所以对这些管线均选用隐蔽组织方法;详细隐蔽组织方法有以下几种。技能夹层,顶部技能夹层,在这种夹层内一般因送、回风管的断面大,故作为夹层内首要考虑的目标。一般将其组织在夹层的上方其下组织电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时,能够在上面设置过滤器及排风设备等。

  房间技能夹层,这种方法和顶部夹层比较,能够削减夹层的布线与高度,能够省去回风管道返回上夹层所需的技能夹道,夹道内还可设回风机动力设备配电等,车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。技能夹道(墙),上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线,这此竖向管线地点的荫蔽空间即技能夹道。

  这类技能夹道(墙)由于大多选用轻质间隔,所以当工艺调整时,可方便地进行调整。技能竖井,如果说技能夹道(墙)往往不越层,则需求越层时即用技能竖井,而且常常作为修建结构的一部分。

  由于技能竖井把各层勾结起来,为了防火内部管线安装完成后,要在层间用耐火极限不低于楼板,检修作业分层进行,检修门有必要设防火门。不管技能夹层,技能夹道还是技能竖井,当直接兼作风道时,其内外表有必要按无尘车间的内外表的要求处理。

EPC无尘净化工程案例

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