日前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德(沈阳)高端装备制造产业园开工建设。该项目将聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，填补相关领域空白，未来打造成为国内领先的集研发、生产、销售于一体的半导体机器人研发生产基地。
该项目计划总投资5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后，可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元，实现税收5000万元，新增就业500余人。
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