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芯片净化车间层流罩气体流向

2024-11-12
共有2420家企业看过

  芯片净化车间的层流罩气体流向设计对于维持车间的洁净度至关重要。一般来说,层流罩内的气体流向应遵循以下原则,具体就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

  一、总体流向

  在芯片净化车间中,层流罩的气体流向通常是从洁净区向非洁净区流动,以防止污染物进入洁净区。这种设计可以确保车间内的空气流动稳定,且能够有效地将洁净空气送入工作区域,同时将污染空气排出。

  二、单向流洁净室的气体流向

  许多芯片净化车间采用单向流洁净室设计,其层流罩的气体流向具有以下特点:

  1、垂直单向流:在这种设计中,气体以一定的速度(如0.25~0.5m/s)从顶棚流向地坪。这种气流能够创造高洁净级别(如100级、10级、1级或更高)的工作环境。气体在流动过程中,将灰尘和污染物从一端向另一端挤压出去,实现洁净空气的置换。

  2、水平单向流:气体以一定的速度(如0.3~0.5m/s)从一面墙流向对面墙。这种设计也能达到较高的洁净级别(如100级)。水平单向流的气体流向同样遵循从洁净区向非洁净区流动的原则,确保工作区域的空气洁净度。


芯片净化车间


  三、气流组织的优化

  为了确保层流罩内的气体流向达到最佳效果,还需要对气流组织进行优化。这包括合理布置送风口和回风口,以及确保送风口送出的洁净空气能够均匀扩散到整个工作区域。同时,回风口应设置在能够有效抽走污染空气的位置,避免气流短路和涡流现象的发生。

  四、注意事项

  1、排风系统设计:排风系统应负责将车间内产生的废气、污染物及多余热量排出,同时保持车间内空气流动的稳定性和洁净度。设计时需考虑不同气体类型的处理方式和设计策略,如酸性或碱性气体需设置湿式洗气吸收塔等处理装置;有机气体需配备活性炭吸附、催化燃烧等处理设备;粉尘则需采用高效除尘设备进行过滤处理。

  2、压差控制:净化车间应维持一定的正压或负压,以防止外界污染空气进入或内部污染空气外泄。压差控制可以通过调节送风量、回风量、排风量和漏风量来实现。

  3、定期维护:层流罩及其相关设备需要定期进行清洁和维护,以确保其正常运行和达到预期的洁净效果。

  综上所述,芯片净化车间层流罩的气体流向设计应遵循从洁净区向非洁净区流动的原则,并通过优化气流组织、合理设计排风系统和压差控制等方式来确保车间的洁净度和空气流动稳定性。

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