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千级半导体净化车间工程参数要求

Wed Jan 24 10:45:27 CST 2024
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  千级半导体净化车间是一种高洁净级别的车间环境,用于半导体生产和制造过程。以下是一些常见的千级半导体净化车间工程参数要求,具体随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下吧!

  千级半导体净化车间工程是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害物质等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一范围之内,而给予特别的房间。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这就是业内俗称级别的千级净化。

  千级半导体净化车间工程参数:

  千级半导体净化车间工程室内空气参数要求:

  (1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%;

  (2)新风量大:由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%,补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量,保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h;


千级半导体净化车间


  (3)送风量大:为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要 300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数 是≥15次/h)。

  千级半导体净化车间工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间,亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

  以上是一些常见的千级半导体净化车间工程参数要求。具体的要求可能会根据不同的项目和标准有所不同,因此建议与专业的净化车间设计师或工程师合作,以确保设计方案符合相关要求。

EPC无尘净化工程案例

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