晶圆净化车间是如何进行等级划分的?

　　晶圆生产是一个非常精细且需要无尘的环境，这种环境通常被称为超净室或洁净室，晶圆净化车间有着严格的等级划分。那么它是怎么进行等级划分的呢?具体就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

　　晶圆净化车间室是一个专门设计的封闭空间，其中空气中的颗粒物已被高度复杂的过滤系统限制或去除。通常，封装领域通常是万级间，十万级间;如果在12寸Fab工厂，光刻区甚至能达到1级，0.1级。那么这些级别是怎么划分的?有何含义?

　　晶圆净化车间的等级划分常见的有两种。一种是美国联邦标准Fed Std 209E，一种是国际标准化组织ISO颁布的洁净室国际标准ISO14644-1。

　　美国联邦标准Fed Std 209E标准定义了从1级到100,000级的洁净室标准。每一个等级都是基于特定空气体积内的微粒数量。按照209E标准，一个Class 100的洁净室，在每立方英尺的空气中允许有不超过100个0.5微米或大于0.5微米的颗粒。以此类推，Class 1000就是每立方英尺的空气中允许有不超过1000个0.5微米或大于0.5微米的颗粒;Class 10000就是每立方英尺的空气中允许有不超过10000个0.5微米或大于0.5微米的颗粒。这种表达方式更容易记忆，因此我们通常说的百级间，千级间的应用范围较广，是以尺寸0.5um的颗粒为界，根据每立方英尺空气中0.5um颗粒的数量来划分。

　　ISO 14644-1标准是一种更具国际性的标准，其定义了从ISO 1级到ISO 9级的洁净度标准，其中ISO 1代表高的洁净度，ISO 9则对应于一般室外空气环境。每个等级都基于特定体积空气中微粒的数量。

　　1、在每立方米空气中不超过10颗0.1微米的颗粒。

　　2、在每立方米空气中不超过100颗0.1微米的颗粒。

　　3、在每立方米空气中不超过1,000颗0.1微米的颗粒。

　　4、在每立方米空气中不超过10,000颗0.1微米的颗粒。

　　5、在每立方米空气中不超过100,000颗0.1微米的颗粒。

　　6、在每立方米空气中不超过1,000,000颗0.1微米的颗粒。

　　7、在每立方米空气中大气颗粒的数目适用于更大的颗粒尺寸。

　　8、空气颗粒数目等同于典型的城市环境。

　　尽管这两个标准的等级名称不同，但他们都基于同一原理：每个等级都基于一定体积空气中的微粒数量。因此，他们之间存在着接近的对应关系：iso3相当于Class1，iso4相当于，Class10 iso5相当于Class100，iso6相当于Class1000，iso7相当于Class10000，iso8相当于Class100000。Fed Std 209E在美国已被取消，取而代之的是ISO 14644-1标准，但是在其他国家，比方我们中国，还习惯使用Fed Std 209E标准，一提到无尘车间的洁净度等级，大家自然而然会想到十级、百级、千级、万级、十万级。尽管如此，我们也需要对ISO 14644-1进行了解，毕竟这是以后的趋势。