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晶圆净化车间是如何进行等级划分的?

2024-01-13
共有4329家企业看过

  晶圆生产是一个非常精细且需要无尘的环境,这种环境通常被称为超净室或洁净室,晶圆净化车间有着严格的等级划分。那么它是怎么进行等级划分的呢?具体就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

  晶圆净化车间室是一个专门设计的封闭空间,其中空气中的颗粒物已被高度复杂的过滤系统限制或去除。通常,封装领域通常是万级间,十万级间;如果在12寸Fab工厂,光刻区甚至能达到1级,0.1级。那么这些级别是怎么划分的?有何含义?

  晶圆净化车间的等级划分常见的有两种。一种是美国联邦标准Fed Std 209E,一种是国际标准化组织ISO颁布的洁净室国际标准ISO14644-1。


晶圆净化车间


  美国联邦标准Fed Std 209E标准定义了从1级到100,000级的洁净室标准。每一个等级都是基于特定空气体积内的微粒数量。按照209E标准,一个Class 100的洁净室,在每立方英尺的空气中允许有不超过100个0.5微米或大于0.5微米的颗粒。以此类推,Class 1000就是每立方英尺的空气中允许有不超过1000个0.5微米或大于0.5微米的颗粒;Class 10000就是每立方英尺的空气中允许有不超过10000个0.5微米或大于0.5微米的颗粒。这种表达方式更容易记忆,因此我们通常说的百级间,千级间的应用范围较广,是以尺寸0.5um的颗粒为界,根据每立方英尺空气中0.5um颗粒的数量来划分。

  ISO 14644-1标准是一种更具国际性的标准,其定义了从ISO 1级到ISO 9级的洁净度标准,其中ISO 1代表高的洁净度,ISO 9则对应于一般室外空气环境。每个等级都基于特定体积空气中微粒的数量。

  1、在每立方米空气中不超过10颗0.1微米的颗粒。

  2、在每立方米空气中不超过100颗0.1微米的颗粒。

  3、在每立方米空气中不超过1,000颗0.1微米的颗粒。

  4、在每立方米空气中不超过10,000颗0.1微米的颗粒。

  5、在每立方米空气中不超过100,000颗0.1微米的颗粒。

  6、在每立方米空气中不超过1,000,000颗0.1微米的颗粒。

  7、在每立方米空气中大气颗粒的数目适用于更大的颗粒尺寸。

  8、空气颗粒数目等同于典型的城市环境。

  尽管这两个标准的等级名称不同,但他们都基于同一原理:每个等级都基于一定体积空气中的微粒数量。因此,他们之间存在着接近的对应关系:iso3相当于Class1,iso4相当于,Class10 iso5相当于Class100,iso6相当于Class1000,iso7相当于Class10000,iso8相当于Class100000。Fed Std 209E在美国已被取消,取而代之的是ISO 14644-1标准,但是在其他国家,比方我们中国,还习惯使用Fed Std 209E标准,一提到无尘车间的洁净度等级,大家自然而然会想到十级、百级、千级、万级、十万级。尽管如此,我们也需要对ISO 14644-1进行了解,毕竟这是以后的趋势。

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