晶圆洁净厂房中的空调系统分类

　　晶圆洁净厂房的空调系统是很重要的存在，空调系统的布置有多种分类，如果按照空气处理设备布置情况分类的话，可以分为以下几种。具体随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

　　1、集中式空调系统

　　所有空气处理设备包括：风机、加热、冷却设备、加湿、减湿设备、过滤器等都集中设置在一个空调机房内，称为集中式空调系统。空气经过集中处理后，再送往各个空调房间内。

　　优点：服务面积大，处理空气多，便于集中管理。

　　缺点：只能送出同一参数的空气，难以满足不同的要求，另外，由于冷源采用集中式供应，处理空气量大，机房占地面积较大，只适用于满负荷运行的大型场所。

　　其中室内回风和室外新风混合后经过处理再通过送风管道送到每个空调房间是一种常见的方式。

　　回风和新风再送入每个房间之前必须通过集中的空气处理装置(组合式空调箱)进行降温/升温、加湿/去湿处理，再通过主风道和各个支管风道送入每个空调房间，以保证房间所要求的温度和湿度要求。

　　2、半集中式空调系统

　　这种系统的特点是除了设有集中的空调机房外，还设有分散在各个房间的二次处理设备(又称为末端装置)来承担一部分冷热负荷。

　　在半集中式系统中，空气处理所需的冷、热源也是由集中设置的冷冻站、交换站供给。因此，集中式和半集中式空调系统又统称为中央空调系统。

　　优点：占建筑空间小，各空调房间可根据需要独立调节室温，房间无人时，可单独关闭室内机组的风机，节省运行费用。

　　缺点：布置分散，系统复杂，维护管理不方便。

　　3、分散式空调系统

　　又称为局部空调系统。它是把空气处理所需的冷热源、空气处理和输送设备、控制设备等集中设置在一个箱体内，组成一个紧凑的空调机组。可按照需要，灵活、方便地设置在需要空调的地方。全分散空调系统不需要集中的空气处理机房。

　　常用的有单元式空调器系统，窗式空调器系统和分体式空调器系统。

　　4、精密空调系统

　　精密空调系统是一种专门用于洁净厂房的空调系统，具备高精度的温湿度控制能力。它通常采用多个空调单元组成，每个单元负责一个小范围的温湿度控制，以确保晶圆制造过程中的精确要求。

　　5、风淋室空调系统

　　风淋室是晶圆洁净厂房中的特殊区域，用于对进入洁净区域的人员和物品进行除尘处理。风淋室空调系统通过高速气流从顶部吹向底部，将空气中的颗粒物带走。该系统通常采用高效过滤器和风机组成。

　　这些空调系统根据晶圆洁净厂房的需求和规模的不同，可以选择适合的空调系统进行安装和使用。重要的是确保空调系统能够提供稳定的温湿度控制，并符合洁净度等级的要求。