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为你解答疑惑十万级半导体无尘室工程的标准

Sat Jul 09 17:15:05 CST 2022
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  无尘室被越来越多的行业所使用,在建设中十万级无尘室被运用的比较广泛,它适用于一般的净化厂房,半导体的生产就离不开无尘厂房,那么十万级半导体无尘室工程的标准有哪些呢?今天就随合洁电子净化工程公司一起来了解下吧!

  一、十万级半导体无尘室标准之温度、湿度,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季净化车间湿度控制在30-50%,夏季净化车间湿度控制在50-70%。

半导体无尘室厂房的图片

  1、配电:主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。

  二、噪声的控制:

  1、动态测试时,标准的噪声级不应超过70分贝A。

  2、静态测试时,标准的噪声级不宜大于60分贝A。

  三、气流组织:

  1、十万级半导体无尘室标准之主要采用的送风方式:

  (1)局部孔板顶棚送风 ;

  (2)带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;

  (3)上侧墙送风 等三种送风方式。

  2、十万级半导体无尘室标准之主要采用的回风方式:

  (1)单侧墙下部布置回风口;(2)当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风。

  以上就是本篇文章全部讲解,想必您读到这里,一定对为你解答疑惑十万级半导体无尘室工程的标准有了一定的认识,希望对您有所帮助。

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