电子芯片厂房洁净车间工程节能环保设计方案

       芯片半导体洁净室建设有严格的洁净度要求，洁净度要求高，建设费用也越高。同时，芯片洁净车间洁净度要求高，所需要的空调风的流量很大，即使普通的100级洁净室，其房间截面风速大于0.25米/秒，换气次数都在400次/小吋以上，因而大面积洁净房间需要庞大的供风设备，耗费很多电能。下面，合洁科技净化工程公司就新排风和电能的“套用”方案和“并联”方案进一步讲解：

       因此，芯片洁净室的节能设计是我们需要重要考虑的一个问题。芯片洁净厂房建设的一次性投资虽然大但还可以接受，但是日常使用电耗的维持费会成为使用者的很大负姐。有些单位由于过高的空调维持费而造成亏损；有些单位耗用巨资，安装了具有相当规模的空调设施，由于维持费的昂贵竞未能投入使用。因而空调系统的节能措施实为广泛采用洁净技术的一项重要保证。

       节能措施在设计的时候就要充分考虑，一点疏忽就会造成不可估量的损失。严格控制洁净区域的面积和洁净度级别等，都是节电的有效方法，不同级别洁净技术的套用，也是减少议备投资，节能节电的一项有效措施。

       所谓不同级别的洁净技术的套用，指的是在大面积净度级別的区域内，套用一些小面积高洁净度级别的区域，“低洁净度”的空调新风作为高洁净度空调风的“新风”。

       有些空调系统中，由于工艺对洁净度的要求不相同，因而采用了高、低两种洁净度并联使用的设计方案，有些甚至采用三种不同沽净度并联使用的方案。这对于仅采用一种活净度的设计来说，无疑是最好的。

       伹是，由于洁净面积很大，总的送风量也就很大，因而空调设备相当庞大，而且与洁净区相距较远，这样就不得不采用很多庞大而又很长的送风管路，采甩很多调节阀门、三通、弯头等。空调风在这样的管道中作长距离的大循环，部会带来一定的压力损失（即风阻），困而不得不选用全压较商的鼓风设备。为了克服这些不必要的压力捩失，就要耗损一定的功率。 这个功率的损失足相当可观的，但是，如果采用不同洁净技术的套用，把高洁净度区域套在低洁净度区域之中，并且把高洁净区区域化整为零，分割成若干个小的区域，那么高洁净区部分的很长而又庞大的送回风管路就可以省掉，空调风就不再作大循环，而是在高洁净区内作小循环，这样，功率损耗就可以减小。由于高洁净区的新风采用了低洁净区的空调风，原风质量提高，含尘量下降，即可以使高洁净区的洁净度稳定，又可以延长高洁净区净化设备的寿命。

       如果高沽净区面积较大，而又不同时完全使用，在工艺允许的悄况下，分成若干更小的区域，形成若干个小系统的并联使用。这样就可以根据需要使其中的某些系统投入运行，其余系统停止运行，从而也能达到节约一部分电能的目的。

现在以900㎡ 100000级厂房和100㎡100级厂房为例，对“并联”和“套用”两种没计方案进行比较。

       如果采用两套分立系统并联使用，那么10000级厂房需2台NO10C离心通风机分別作送风和时风风机，电动机功率分别为13千瓦和10千瓦。100级厂房全部采用垂直平行流送风方式，则需2台N O i e B 离心通风机分别作送风和回风风机，电动功率分别为30千瓦和13千瓦，这样洁净度为100级的洁净区，每平方米仅送W 风就需耗用0.43千瓦的功率。两系统的总功率即为66千瓦。值班甩机采用1台NO6C离心通风机，电动机的功率为5.5千瓦。

       如果采用不同洁净度级别的套用，总的送风和回风风机仍可采用2 台NO10C离心通风机，电动机功率仍为13千瓦和10千瓦。100平方米的高洁净区可以根据需要划分成若千个小系统。由于风机全压只需294Pa，而且不需采用回风机，因而洁净度为 100级的洁净区每平方米仅需0.2千瓦左右的功率就可以满足送风的要求。 那么100平方米洁净度为100级的广房仅需20千瓦左右的功率。这样套用系统的功率仅为43千瓦左右，值班风机仍采用NO6C离心通风机。

       因此，合洁科技净化工程公司所讲解的上述方案的分析可以看出，“套用”方案为“并联”方案所用功率的65%，100级洁净区每平方米耗电S由0.43千瓦降到0.2千瓦。如果两班生产，套用系统毎天比并联分立系统节约电能3.68千瓦小时，100级洁净区每平方米毎天节约3.68千瓦小时。每千瓦小时电按0.75元计算每天可节约电能维持费276元。全年按300天生产计算，就珂节约电费8.28万元。

       套用系统省掉了一些庞大的送、回风管路系统，不但节省了投资费用，特別适合于改建工程，而且也减少了空调能量的耗散。这种庞大的管路系统，即使在保温设施良好的情况下，每输送10000立方米的空调气，夏季可能会吸收4.184M J的热量，冬季可能会耗散8.37?12.55MJ的热量。在大型空调系统中，这种能量的耗散也是不可忽视的，因而“套用”系统也可以降低系统的能耗。

       这种不同沽净技术的“套用”，也可采用两级“套用”，也可采用多级“套用”。这样、使用一般的洁净技术，就可以形成高洁净度级别的洁净区域。如果在1000级甚至100级的区域内“套用”0.1μ的净化工作台，或者0.1μ的净化隧道等等，即可以保证工作区域的洁净度级别、延长0.1μ净化设备的使用寿命，又可以节约电能。

       我们采用“套用”方案，建造的电子洁净厂房或非电子洁净厂房的通过使用证明，高洁净区洁净度稳定，过滤器使用寿命延长，各种设备便于维护，特别在节能方面效果显著；是一项节能的有效捎施。