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半导体净化车间

2022-04-26
共有4776家企业看过

      半导体器件、晶圆厂洁净车间建设方案简要:

      半导体器件晶圆的生产过程中,易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构,这种产品特性也决定了其制造过程中必须有洁净度的要求。同时,在半导体晶圆的测试过程中,测试间也必须置于洁净室中,洁净度的控制也同样重要,洁净车间的洁净度控制不好,会导致空气中的含尘量过高,从而导致外来物的增加,进而影响到测试的准确度、稳定性,严重还会导致探针测试卡的损坏。

      洁净车间最主要的作用就在其能控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产。在晶圆车间中,为了解决晶圆测试中良率不佳、测试结果不稳定,探针测试卡的损毁及晶圆的报废这些问题,洁净室及辅助室的设计就该是厂区建设的首要任务之一,且严格按照行业标准规范进行《硅集成电路芯片工厂设计规范》、《建筑设计防火规范》、《电子工业洁净厂房设计规范》、《洁净厂房设计规范》等规范。

      晶圆车间对生产环境的温度、湿度、洁净度、防微振等均有着严格的控制要求,且各种配套系统繁多复杂。合洁科技净化工程公司的设计师常规也会采用FAB布局设计,比如从Fab建筑布局的竖向布置、平面布置、底层柱网的确定、SB支持区的布置、新风机房的布置、建筑消防、火灾危险性分类的确定、防火分区设计、防泄爆设计、专用消防口的设置等等。
       大多数FAB工厂都是四层结构,从上至下分别为:上技术夹层,洁净生产层,洁净下技术夹层和非洁净下技术夹层。

      详细设计要点请联系合洁科技半导体车间建设工程师

      洁净车间工程示例如下:










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