
洁净级别:百级、千级、10万级
建筑面积:8300平方米
项目地址:深圳
百级电子净化车间的传递窗设计需严格遵循洁净室规范,重点围绕密封性、防交叉污染、高效过滤及自动化控制展开,以下从核心设计要点、结构与材料、功能模块、安全与维护四个维度展开分析,具体就随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下吧!
一、核心设计要点
1、密封性设计
采用双层不锈钢或铝合金框架,结合硅胶密封条,确保窗体与墙体、门扇与窗体间缝隙≤0.1mm,压差测试泄漏率≤0.01%。
门扇配备电磁锁或机械互锁装置,确保两侧门不同时开启,避免气流短路。
2、防交叉污染机制
配置高效过滤器(HEPA),对≥0.3μm颗粒过滤效率≥99.995%,过滤风速≥0.45m/s,定期更换周期≤6个月。
内置紫外灯(254nm波长),照射强度≥70μW/cm2,杀菌时间可调(15-30分钟),或采用臭氧发生器(浓度≤0.3ppm,作用时间≥30分钟)。
3、气流组织优化
采用层流设计,气流方向为单向垂直或水平,风速均匀性偏差≤±15%,换气次数≥60次/小时。
设置压差传感器,实时监测传递窗内外压差(建议维持5-10Pa正压),超限报警并联动通风系统。
二、结构与材料选择
1、主体结构
箱体:304不锈钢(厚度≥1.5mm)或彩钢板(内外层钢板厚度≥0.6mm,中间夹芯材料阻燃等级A级)。
视窗:双层钢化玻璃(厚度≥5mm),夹层充惰性气体,表面镀防静电膜(表面电阻≤10?Ω)。
2、尺寸与布局
标准尺寸:600mm(宽)×600mm(深)×600mm(高),或根据物料尺寸定制(如800mm×800mm×800mm)。
内部设可调层板(承重≥50kg),层板间距可调范围50-200mm,便于灵活放置工具箱、晶圆盒等。
三、功能模块配置
1、自动化控制系统
配备PLC控制器,集成触摸屏(分辨率≥800×480),支持中英文切换,可编程操作流程(如开门→放置→关门→杀菌→解锁→取物)。
传感器联动:红外感应(检测人员靠近)、门磁开关(状态反馈)、计时器(杀菌时长控制),异常情况(如门未关严)时声光报警。
2、智能监控与追溯
内置温湿度传感器(精度±0.5℃、±2%RH)、压差传感器(精度±1Pa),数据记录间隔≤1分钟,存储时长≥30天。
支持数据接口(RS485/以太网),可与车间MES系统对接,实现操作记录、维护日志、报警历史云端存储与追溯。
四、安全与维护设计
1、安全防护
紫外灯防护:设置延时启动(开门后≥30秒关闭)、急停按钮(响应时间≤0.5秒)、安全联锁(门开时自动断电)。
电气安全:接地电阻≤4Ω,绝缘电阻≥1MΩ,漏电保护动作电流≤30mA,动作时间≤0.1秒。
2、维护便捷性
过滤器采用抽屉式结构,更换时间≤5分钟,配置压差表(红色预警线≥250Pa),提示更换。
紫外灯管采用快拆设计,更换时间≤2分钟,寿命≥8000小时,设置累计计时器记录使用时长。
五、设计验证与认证
1、性能测试
依据ISO 14644-3、GB 50073-2013标准,进行泄漏测试(发烟法)、气流流型测试(示踪气体法)、洁净度测试(粒子计数器)。
杀菌效果验证:采用生物指示剂(枯草芽孢杆菌黑色变种),存活率≤0.01%。
2、认证与合规
通过CE、FDA认证,符合GMP、ISO 14644-1(Class 1)标准,提供第三方检测报告及校准证书。